實驗室簡介
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(1)
與CMOS製程相容之微機電元件薄膜材料機械性質檢測技術
(2)
靜電式微結構之電彈性(electromechanical)行為分析
(3)
電腦輔助之肌肉訓練系統開發
(4-1)
隱形雷射技術應用於晶圓分割之破裂機制分析
(4-2) 晶圓級(WLCSP)取晶片之擴片機制分析
實驗室設備