實驗室簡介
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(1) 與CMOS製程相容之微機電元件薄膜材料機械性質檢測技術

(2) 靜電式微結構之電彈性(electromechanical)行為分析

(3) 電腦輔助之肌肉訓練系統開發

(4-1) 隱形雷射技術應用於晶圓分割之破裂機制分析

 

(4-2) 晶圓級(WLCSP)取晶片之擴片機制分析

 

實驗室設備

 

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